9位: プラズマエレクトロニクス (インターユニバーシティ)
評価
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高周波放電の基礎として
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プラズマを学ぶ人なら一度はこの本を目にしているはず。
プラズマの基礎特性から産業応用まで一通りカバーしてます。
特に高周波放電(RF)については、DC放電よりもページ数を割いて説明してあり、
アンテナ結合の考え方から、CCPとICPについて、そして表面波やECRやヘリコンまで
載っています。特にCCPは自己バイアスや加熱モードについて詳しく載っているので、
スパッタやエッチングなどCCPをよく使う方にはちょうどいいと思います。
そして演習問題もちゃんと解答が載ってます(これは良書の最低条件だと思ってます)。
ただ残念なのは、産業応用としてエッチングやCVDの話をしているけど、具体的な装置構成
については載っていません(もちろんDC放電関係も)。あと、プラズマの特性を測定するのに
使うプローブ法や分光法もほとんど載っていないので、そこら辺は別の本でカバーしてください。
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